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海德汉新一代电子和半导体生产技术

2024-05-28      229

海德汉新一代电子和半导体生产技术


HEIDENHAIN海德汉高精度和高产出:详细了解在HEIDENHAIN 2024半导体活动上亮相的电子和半导体生产的全新解决方案。


海德汉全面提高精度:多达六自由度的编码器

大家以多自由度技术为基础设计开发的编码器可反馈一个以上自由度的位置。附加的反馈信号可显著提高测量精度,检测其它方向运动的位置误差并进行补偿,避免影响系统。采用此创新技术的编码器包括PP 6000 Dplus二维编码器、LIP 6000 Dplus直线编码器和GAP 1000间隙测量编码器。


PP 6000:两个测量方向,达到更高精

阿贝(Abbé)误差影响机床精度。阿贝(Abbé)误差通常难以测量,而PP 6000 二维编码器可测量此误差。这款编码器只需一个读数头同时测量两个方向,测量面尺寸达464 mm x 464 mm,如果需要更大测量面尺寸,可根据需要提供。直接测量刀具中心点,最大限度减小阿贝(Abbé)误差,提高设备精度。EnDat 3接口在一条电缆中传输两路位置反馈信号,因此,可减少电缆数量和减轻设置工作。PP 6000 编码器优化运动系统的动态性能。


LIP 6000 Dplus : 1条栅尺,1个读数头,2个自由度

LIP 6000 Dplus在一个光栅基体上提供两条独立的光栅刻轨,交叉角为+45°和–45°。专用的扫描场读数头直接扫描每一条光栅,在测量范围的全长上沿X轴主方向和Y轴辅助方向精确进行测量。接口为EnDat 3,因此可用一条电缆将两组位置值发给控制系统。显著简化电缆连接,简化编码器安装和提高运动系统动态性能。


轻松检查设备精度:基于LIP 6000 Dplus的校准工具

大家提供以LIP 6000 Dplus为基础的校准工具,可用其随时检测和调整设备。设备的校准并非日常任务,用户可租用大家的校准工具,这是HEIDENHAIN的一项服务,用户无需购买和持有自己的校准工具。大家提供认证的校准工具,在需要时可方便地用其检查系统精度。


GAP 1081: 平面外间隙测量

海德汉全新的间隙测量编码器GAP 1081。可测量特殊镜面与读数头间的垂直间隙。因此,可用GAP 1081进行简单的垂直位置测量。也可以安装在平行于直线光栅尺的方向上,例如LIP 6000 Dplus,在直线轴方向上连续进行垂直测量。GAP 1081的镜面长度可达3 m。如果在镜面上使用两个读数头,则可同时测量直线轴的俯仰和偏向。


海德汉MRP 8081 Dplus:充分发挥编码器的精度优势

尽管编码器提供认证的精度和精度检定图,但在应用中也可能无法充分发挥精度优势。原因多种多样,特别是编码器被安装在刚性不足的部件上时。MRP 8081 Dplus提供可转移精度,确保在应用中最大限度达到的精度。此技术使用了以下特性:


海德汉高刚性的轴承

四个读数头

为控制系统提供全套校准数据

MRP 8081 Dplus提供这些特性,在给定安装条件、摆动负载或其它外部条件下,例如振动、突发的机械负载和温度波动,系统精度可达±0.2角秒。提高精度和工作性能,在不牺牲精度的条件下达到更高电机转速。

除高精度角度测量外,MRP 8081 Dplus的四个读数头还能测量轴的径向导向误差。未来,专用的电子电路可分析四路读数头信号,补偿这些误差。


重负载轴:不受齿槽扭矩或径向力影响

海德汉MRP角度编码器模块与ETEL力矩电机珠联璧合共同打造平滑性的运动控制系统。无论齿槽扭矩还是径向力对轴承的导向精度都没有影响。大家还提供SRP 5000角度编码器模块,这是一款紧凑、超薄和高刚性的角度编码器。其部件的高刚性还能确保在变化的负载条件下达到一致的高精度。


HEIDENHAIN为高动态性能旋转轴开发敞开式编码器:ERO 2000,现在提供多自由度技术的ERP 1080 Dplus

电子和半导体生产是高速发展的行业。HEIDENHAIN不断开发敞开式编码器,满足高速发展要求。ERO 2000增量式角度编码器就是这样一款产品,这款编码器专用于空间有限和高动态性能的应用,例如扫描振镜。而且,ERP 1000精度高和分辨率高。ERP 1080 Dplus是此产品线中的一款产品,含四个读数头,其工作可靠性和安装优点与MRP 8081 Dplus角度编码器模块相同。


总线式工作的EnDat 3接口:高速,易用,经济

要实现系统的紧密集成,同时面向未来的数字化时代,包括总线式工作要求,EnDat 3是编码器接口的理想选择。EnDat 3可为自动化系统减少连接电缆数量,可提供丰富的诊断功能,可实现更高安全性和可靠性。该接口提供通用型通信技术,可传输丰富的数据,不仅包括位置反馈数据,还包括传感器数据、系统监测数据和自动配置数据。


高动态性能直驱电机的理想选择:RSF灵活的模块型光栅尺和编码器

RSF的直线光栅尺和角度编码器采用模块化设计,应用灵活,可轻松集成在应用系统中。这些光栅尺和角度编码器支撑大量不同接口,可轻松连接常用的控制系统和支撑不同的物理设计。其它获益还包括宽松的安装公差和易于安装。RSF的全新MCR 16角度编码器可达更高信号质量。 


LIC 3000:高动态性能直线轴的海德汉敞开式直线光栅尺

LIC 3000系列光栅尺是继LIC 4000系列和LIC 2000系列敞开式绝对直线光栅尺之后的又一个产品线。LIC 3000测量步距仅10 nm,运动速度可达600 m/min。LIC 3000直线光栅尺可进行直线轴高动态性能和高精度位置测量,测量长度可达10 m。


LIC 3000的大型扫描场可有效提高抗污性能。测量基准的局部污染对信号质量和测量稳定性的影响十分有限。由于LIC 3000系列敞开式直线光栅尺动态性能高,测量长度大和坚固耐用,因此,这款光栅尺应用灵活,在更多的应用中都能充分发挥LIC光栅尺的优势。


超薄直线光栅尺:NUMERIK JENA的LIKgo和LIKselect

NUMERIK JENA LIKgo和LIKselect敞开式直线光栅尺是狭小安装空间和高精度应用的理想选择。


标准型的LIKgo光栅尺的突出特点是体积小,重量轻。读数头尺寸仅28 mm x 13 mm x 7.5 mm和重量仅10 g。这款光栅尺采用新开发的20 µm栅距的两场扫描技术,测量步距可达78.125 nm的精度,并提供高质量信号和优异的抗污性能。


为满足量身定制要求,LIKselect光栅尺结合NUMERIK JENA的Kit L系列优点,可以灵活配置编码器功能特性,满足个性化的应用需求。


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